點(diǎn)擊圖片查看大圖功能調(diào)系列調(diào)阻機(jī)
設(shè)備特點(diǎn)
?定制化：可針對(duì)客戶(hù)產(chǎn)品不同的激光調(diào)阻應(yīng)用要求，提供具有較高價(jià)值的產(chǎn)品解決方案。
?調(diào)阻精度高：獨(dú)特的測(cè)控技術(shù)，測(cè)量控制系統(tǒng)精度的一致性好，提升產(chǎn)品附加值；成品率高，單位成本下降。
?軟件可編程：可輕松實(shí)現(xiàn)客戶(hù)的不同需求以及高自動(dòng)化運(yùn)行，也可作為專(zhuān)門(mén)的測(cè)試平臺(tái)，適應(yīng)性廣。
?使用成本低：采用了先進(jìn)的激光器，無(wú)耗材，使用成本低，長(zhǎng)期使用節(jié)約大量的費(fèi)用。
?多功能：可實(shí)現(xiàn)陶瓷基片的激光劃線、打標(biāo)，減少設(shè)備的再投入。
?專(zhuān)業(yè)大理石基座，可有效減小工作臺(tái)啟動(dòng)、停止和加速過(guò)程中產(chǎn)生的震動(dòng)，同時(shí)保持機(jī)臺(tái)溫度的穩(wěn)定性，可靠性高。
主要技術(shù)參數(shù)
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激光系統(tǒng) |
型號(hào)規(guī)格 |
LT |
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激光波長(zhǎng) |
1064nm |
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激光功率 |
10W |
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典型光斑尺寸 |
35±5μm |
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對(duì)焦方式 |
自動(dòng)，計(jì)算機(jī)程序控制 |
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冷卻方式 |
風(fēng)冷 |
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激光束定位系統(tǒng) |
激光束運(yùn)動(dòng)范圍 |
60mm X 60mm |
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運(yùn)動(dòng)分辨率 |
0.76μm |
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重復(fù)定位精度 |
±5μm |
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分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) |
運(yùn)動(dòng)方式 |
精密閉環(huán)XY平臺(tái) |
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運(yùn)動(dòng)范圍 |
300mm*300mm |
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重復(fù)定位精度 |
±10μm |
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大運(yùn)動(dòng)速度（空載） |
180mm/s |
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測(cè)量系統(tǒng) |
電阻測(cè)量方式 |
四線制測(cè)量或二線制測(cè)量 |
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電阻測(cè)量精度 |
中阻0.05% |
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電阻測(cè)量范圍 |
0.1Ω-100MΩ |
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測(cè)量速度 |
25μs/次 |
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零點(diǎn)及滿(mǎn)程誤差校正 |
自動(dòng)校正 |
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探針定義 |
可編程任意設(shè)定 |
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探針板運(yùn)動(dòng) |
自動(dòng)，計(jì)算機(jī)程序控制 |
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